Semiceran10x10mm ei-napainen M-taso alumiinialustaon huolellisesti suunniteltu täyttämään edistyneiden optoelektronisten sovellusten tiukat vaatimukset. Tässä substraatissa on ei-polaarinen M-tasosuuntaus, joka on kriittinen polarisaatiovaikutusten vähentämiseksi laitteissa, kuten LEDissä ja laserdiodeissa, mikä parantaa suorituskykyä ja tehokkuutta.
The10x10mm ei-napainen M-taso alumiinialustaon valmistettu poikkeuksellisella kiteisellä laadulla, mikä takaa minimaalisen virhetiheyden ja erinomaisen rakenteellisen eheyden. Tämä tekee siitä ihanteellisen valinnan korkealaatuisten III-nitridikalvojen epitaksiaaliseen kasvuun, jotka ovat välttämättömiä seuraavan sukupolven optoelektronisten laitteiden kehittämisessä.
Semiceran tarkkuustekniikka varmistaa, että jokainen10x10mm ei-napainen M-taso alumiinialustatarjoaa tasaisen paksuuden ja pinnan tasaisuuden, jotka ovat ratkaisevia tasaisen kalvon levittämisen ja laitteen valmistuksen kannalta. Lisäksi alustan kompakti koko tekee siitä sopivan sekä tutkimus- että tuotantoympäristöihin, mikä mahdollistaa joustavan käytön erilaisissa sovelluksissa. Erinomaisen lämpö- ja kemiallisen stabiiliutensa ansiosta tämä alusta tarjoaa luotettavan perustan huippuluokan optoelektronisten teknologioiden kehittämiselle.
| Tuotteet | Tuotanto | Tutkimus | Nukke |
| Kristalliparametrit | |||
| Polytyyppi | 4H | ||
| Pinnan suuntausvirhe | <11-20 >4±0,15° | ||
| Sähköiset parametrit | |||
| Seostusaine | n-tyypin typpi | ||
| Resistanssi | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mekaaniset parametrit | |||
| Halkaisija | 150,0±0,2 mm | ||
| Paksuus | 350±25 μm | ||
| Ensisijainen tasainen suuntaus | [1-100]±5° | ||
| Ensisijainen litteä pituus | 47,5±1,5 mm | ||
| Toissijainen asunto | Ei mitään | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Keula | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Loimi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Etuosan (Si-face) karheus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Rakenne | |||
| Mikroputken tiheys | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metallien epäpuhtaudet | ≤5E10atomia/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Laatu edessä | |||
| Edessä | Si | ||
| Pintakäsittely | Si-face CMP | ||
| Hiukkaset | ≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm) | NA | |
| Naarmut | ≤5ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija | Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA |
| Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovia/halkeamia/kontaminaatio | Ei mitään | NA | |
| Reunalastut/syvennykset/murtuma/kuusiolevyt | Ei mitään | ||
| Polytyyppialueet | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 % | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 % |
| Lasermerkintä edessä | Ei mitään | ||
| Takana Laatu | |||
| Takana viimeistely | C-face CMP | ||
| Naarmut | ≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA | |
| Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset) | Ei mitään | ||
| Selän karheus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Takana lasermerkintä | 1 mm (yläreunasta) | ||
| Reuna | |||
| Reuna | Viiste | ||
| Pakkaus | |||
| Pakkaus | Epi-valmis tyhjiöpakkauksella Multi-kiekkokasettipakkaus | ||
| *Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, ettei pyyntöä ole. Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen. | |||
