Kuvaus
Piikarbidikeramiikalla on erinomaiset mekaaniset ominaisuudet huoneenlämpötilassa, kuten korkea lujuus, korkea kovuus, korkea kimmomoduuli jne., sillä on myös erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius, kuten korkea lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja hyvä ominaisjäykkyys ja optinen ominaisuus. käsittelyn suorituskykyä.
Ne soveltuvat erityisesti tarkkuuskeraamisten osien valmistukseen integroituihin piirilaitteisiin, kuten litografiakoneisiin, joita käytetään pääasiassa piikarbidin kantajan/suskeptorin, piikarbidikiekkoveneen, imulevyn, vesijäähdytyslevyn, tarkkuusmittaheijastimen, ritilän ja muiden keraamisten rakenneosien valmistukseen.
Edut
Korkean lämpötilan kesto: normaali käyttö 1800 ℃
Korkea lämmönjohtavuus: vastaa grafiittimateriaalia
Korkea kovuus: kovuus on toinen timantin, boorinitridin jälkeen
Korroosionkestävyys: vahvalla hapolla ja alkalilla ei ole korroosiota, korroosionkestävyys on parempi kuin volframikarbidi ja alumiinioksidi
Kevyt: pieni tiheys, lähellä alumiinia
Ei muodonmuutoksia: alhainen lämpölaajenemiskerroin
Lämpösokkien kestävyys: se kestää jyrkkiä lämpötilan muutoksia, kestää lämpöshokkia ja sillä on vakaa suorituskyky
Piikarbidialustaa, kuten sic-etsausalustaa, ICP-etsaussuskeptoria, käytetään laajalti puolijohde-CVD:ssä, tyhjiösputteroinnissa jne. Voimme tarjota asiakkaillemme räätälöityjä pii- ja piikarbidimateriaaleista valmistettuja kiekkoalustoja erilaisiin sovelluksiin.
Edut
| Omaisuus | Arvo | Menetelmä |
| Tiheys | 3,21 g/cc | Sink-kelluke ja mitat |
| Ominaislämpö | 0,66 J/g °K | Pulssi lasersalama |
| Taivutusvoima | 450 MPa 560 MPa | 4 pisteen taivutus, RT4 pisteen mutka, 1300° |
| Murtuman sitkeys | 2,94 MPa m1/2 | Mikrolompaus |
| Kovuus | 2800 | Vicker's, 500g kuorma |
| Elastinen ModulusYoung's Modulus | 450 GPa430 GPa | 4 pt mutka, RT4 pt mutka, 1300 °C |
| Raekoko | 2-10 µm | SEM |
Yrityksen profiili
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. on edistyneen puolijohdekeramiikan johtava toimittaja ja ainoa valmistaja Kiinassa, joka voi samanaikaisesti tarjota erittäin puhdasta piikarbidikeramiikkaa (erityisesti uudelleenkiteytettyä piikarbidia) ja CVD-piikarbidipinnoitetta. Lisäksi yrityksemme on sitoutunut myös keramiikkakenttiin, kuten alumiinioksidiin, alumiininitridiin, zirkoniumoksidiin ja piinitridiin jne.
Päätuotteitamme ovat: piikarbidietsauslevy, piikarbidivenerouva, piikarbidikiekkovene (Photovoltaic & Semiconductor), piikarbidiuuniputki, piikarbidiulokelapa, piikarbidiistukat, piikarbidipalkki sekä CVD-palkki sekä SiC pinnoite. Tuotteet, joita käytetään pääasiassa puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudessa, kuten laitteet kiteen kasvuun, epitaksiin, syövytykseen, pakkaamiseen, pinnoitus- ja diffuusiouuneihin jne.
Kuljetus
