Isostaattinen PECVD-grafiittivene

Lyhyt kuvaus:

Isostaattista PECVD-grafiittivenettä käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksen eri osissa, kuten polypiikalvopinnoituksessa, oksidikalvopinnoituksessa, nitridikalvopinnoituksessa jne. Sen erinomainen suorituskyky tekee siitä ihanteellisen kiekon alustan PECVD-prosessissa.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SEMICERA isostaattinen PECVD-grafiittivene on erittäin puhdas, tiheä grafiittituote, joka on suunniteltu kiekkojen tukemiseen PECVD-prosessissa (plasma tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus). SEMICERA käyttää edistynyttä isostaattista puristustekniikkaa varmistaakseen, että grafiittiveneellä on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, korroosionkestävyys, mittapysyvyys ja hyvä lämmönjohtavuus, mikä on puolijohteiden valmistusprosessissa korvaamaton kuluva aine.

SEMICERA isostaattisella PECVD-grafiittiveneellä on seuraavat edut:

▪ Erittäin puhdas: Grafiittimateriaali on erittäin puhdasta ja sisältää vähän epäpuhtauksia, jotta kiekkojen pinta ei likaannu.

▪ Suuri tiheys: Suuri tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeaa lämpötilaa ja suurta tyhjiöympäristöä.

▪ Hyvä mittapysyvyys: Pieni mittamuutos korkeassa lämpötilassa prosessin vakauden varmistamiseksi.

▪ Erinomainen lämmönjohtavuus: Siirrä tehokkaasti lämpöä kiekkojen ylikuumenemisen estämiseksi.

▪ Vahva korroosionkestävyys: Kestää erilaisten syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

Suorituskykyparametri	semicera	SGL R6510	Suorituskykyparametri
Bulkkitiheys (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Taivutuslujuus (MPa)	63	60	49
Puristuslujuus (MPa)	135	130	103
Shore-kovuus (HS)	70	64	60
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/K)	85	105	130
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Resistanssi (μΩm)	11-13	13	10

Edut, kun valitset meidät:
▪ Materiaalin valinta: Tuotteen laadun varmistamiseksi käytetään erittäin puhtaita grafiittimateriaaleja.
▪ Käsittelytekniikka: Isostaattista puristusta käytetään tuotteen tiheyden ja tasaisuuden varmistamiseksi.
▪ Kokojen räätälöinti: Erikokoisia ja -muotoisia grafiittiveneitä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.
▪ Pintakäsittely: Saatavilla on erilaisia pintakäsittelymenetelmiä, kuten piikarbidin, boorinitridin pinnoitus jne. erilaisten prosessivaatimusten täyttämiseksi.