Kiekkojen alustan esittely
TUOTEKATEGOORIA
▶Kiekkojen kantojärjestelmä PECVD- ja TALOX-prosessille
• PECVD- ja TALOX-grafiittivene (M4-M12)
• Pysty SM-vene (M4, M6)
• Implantin ja suihkun grafiittiosa (M4~M6)
• C/C-alusta ja keraaminen pinnoite
• Metallinen RIE-alusta ja keraaminen pinnoite
• Tyhjiötiivistys: O-rengas ja SQ-rengas
▶Tekstuurin ja märkäetsauksen siirtoprosessi
• LSC H-Carrier tai kasetti (M4~M12)
• LSC V-Carrier tai kasetti (M4~M12)
• ASC-kantaja tai kasetti (M4, M6)
• W/F-kanto- ja säilytyslaatikko (M4-M12)
• Kuljetuspyörä (rulla) -sarja
▶Aurinkokennotelija ja metalliteline
• TRC-teline tai kasetti (M4~M12)
• Aikakauslehti (hihnalla)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF KÄYTTÖLAITE JA SÄILYTYSLAATIKKO (~M12)
C/C TRAY tai CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY tai CARRIER (M4~M10)
PYSTYVENE (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
GRAFIITTIVENE (M12)
Kiekkojen kantojärjestelmä PECVD-prosessiin
▶ GRAFIITTIVENE (CT-suunniteltu) M10/M12-prosessi
• ERIKOISSUUNnittelukonsepti
▶ GRAFIITTIVENE (CT-suunniteltu) M4/M6-prosessi
▶ VENEEN lisäosat
▶ PYSTYVENE-161,7 mm VOIFERI
▶ PYSTYVENE - 166 mm VOIFERI
▶ PYSTYVENE - 161,7 mm, 166 mm WAFER
Aurinkokennotelineet ja metalliset TRC-kannattimet
TYYPPI: Automaatio
VOHVELIN KOKO: ① 156 × 156 MM ② 156,75 × 156,75 MM
③161,7x161,7mm ④166x166mm
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
KÄYTTÖ: Kanto (kasetti)
KAPASITEETTI: 100 arkkia
PITCH: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
MITAT: Noin 559 × 220 × 220 mm
Noin 712 × 260 × 260 mm
EDUT: Tunnelma
MATERIAALI: LIEKKI, SIVUTANKO-Alumiini (anodisoitu)
SIDE PLATE-POM (Antstaattinen)
Alatangon kansi - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
SUIHKULEVY JA IMPLANTTI, KULJETUS
