PFA-kasetti

Lyhyt kuvaus:

PFA-kasetti– Koe vertaansa vailla oleva kemikaalinkestävyys ja kestävyys Semiceran PFA-kasetilla, joka on ihanteellinen ratkaisu turvalliseen ja tehokkaaseen kiekkojen käsittelyyn puolijohdevalmistuksessa.


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Semiceraon ilo tarjotaPFA-kasetti, ensiluokkainen valinta kiekkojen käsittelyyn ympäristöissä, joissa kemikaalien kestävyys ja kestävyys ovat ensiarvoisen tärkeitä. Tämä erittäin puhtaasta perfluoroalkoksimateriaalista (PFA) valmistettu kasetti on suunniteltu kestämään puolijohteiden valmistuksen vaativimmatkin olosuhteet, mikä varmistaa kiekkoidesi turvallisuuden ja eheyden.

Verraton kemiallinen kestävyysThePFA-kasettion suunniteltu tarjoamaan ylivoimainen kestävyys monenlaisia ​​kemikaaleja vastaan, joten se on täydellinen valinta prosesseihin, joissa käytetään aggressiivisia happoja, liuottimia ja muita vahvoja kemikaaleja. Tämä kestävä kemikaalienkestävyys varmistaa, että kasetti pysyy ehjänä ja toimivana jopa syövyttävimmässä ympäristössä, mikä pidentää sen käyttöikää ja vähentää toistuvien vaihtojen tarvetta.

Erittäin puhdas rakenneSemiceranPFA-kasettion valmistettu erittäin puhtaasta PFA-materiaalista, joka on kriittinen kontaminaation estämisessä kiekkojen käsittelyn aikana. Tämä erittäin puhdas rakenne minimoi hiukkasten muodostumisen ja kemiallisen huuhtoutumisen riskin, mikä varmistaa, että kiekot ovat suojassa epäpuhtauksilta, jotka voivat vaarantaa niiden laadun.

Parannettu kestävyys ja suorituskykySuunniteltu kestämään,PFA-kasettisäilyttää rakenteellisen eheytensä äärimmäisissä lämpötiloissa ja ankarissa käsittelyolosuhteissa. Altistuipa se korkeille lämpötiloille tai toistuvaan käsittelyyn, tämä kasetti säilyttää muotonsa ja suorituskykynsä tarjoten pitkäaikaista luotettavuutta vaativissa valmistusympäristöissä.

Tarkkuustekniikka turvalliseen käsittelyynTheSemicera PFA kasettion tarkka suunnittelu, joka varmistaa turvallisen ja vakaan kiekkojen käsittelyn. Jokainen aukko on huolellisesti suunniteltu pitämään kiekot tukevasti paikoillaan estäen liikkeet tai siirtymät, jotka voivat johtaa vaurioihin. Tämä tarkkuustekniikka tukee tasaista ja tarkkaa kiekkojen sijoittelua, mikä edistää prosessin kokonaistehokkuutta.

Monipuolinen sovellus eri prosesseihinErinomaisten materiaaliominaisuuksiensa ansiostaPFA-kasettion riittävän monipuolinen käytettäväksi puolijohteiden valmistuksen eri vaiheissa. Se soveltuu erityisen hyvin märkäsyövytykseen, kemialliseen höyrypinnoitukseen (CVD) ja muihin prosesseihin, joihin liittyy ankaria kemiallisia ympäristöjä. Sen mukautumiskyky tekee siitä olennaisen työkalun prosessin eheyden ja kiekkojen laadun ylläpitämisessä.

Sitoutuminen laatuun ja innovaatioihinSemiceralla olemme sitoutuneet tarjoamaan tuotteita, jotka täyttävät alan korkeimmat standardit. ThePFA-kasettion esimerkki tästä sitoutumisesta tarjoten luotettavan ratkaisun, joka integroituu saumattomasti tuotantoprosesseihisi. Jokainen kasetti käy läpi tiukan laadunvalvonnan sen varmistamiseksi, että se täyttää tiukat suorituskykykriteerimme ja tarjoaa Semiceralta odottamaasi erinomaisuutta.

Tuotteet

Tuotanto

Tutkimus

Nukke

Kristalliparametrit

Polytyyppi

4H

Pinnan suuntausvirhe

<11-20 >4±0,15°

Sähköiset parametrit

Seostusaine

n-tyypin typpi

Resistanssi

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaaniset parametrit

Halkaisija

150,0±0,2 mm

Paksuus

350±25 μm

Ensisijainen tasainen suuntaus

[1-100]±5°

Ensisijainen litteä pituus

47,5±1,5 mm

Toissijainen asunto

Ei mitään

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Keula

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Loimi

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Etuosan (Si-face) karheus (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Rakenne

Mikroputken tiheys

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metallien epäpuhtaudet

≤5E10atomia/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Laatu edessä

Edessä

Si

Pintakäsittely

Si-face CMP

Hiukkaset

≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm)

NA

Naarmut

≤5ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija

Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija

NA

Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovat/halkeamat/kontaminaatio

Ei mitään

NA

Reunalastut/syvennykset/murtuma/kuusiolevyt

Ei mitään

Polytyyppialueet

Ei mitään

Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 %

Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 %

Lasermerkintä edessä

Ei mitään

Takana Laatu

Takana viimeistely

C-face CMP

Naarmut

≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija

NA

Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset)

Ei mitään

Selän karheus

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Takana lasermerkintä

1 mm (yläreunasta)

Reuna

Reuna

Viiste

Pakkaus

Pakkaus

Epi-valmis tyhjiöpakkauksella

Multi-kiekkokasettipakkaus

*Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, että ei pyyntöä Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen.

tech_1_2_size
SiC kiekot

  • Edellinen:
  • Seuraavaksi: