RTPCVD SiC renkaatkäytetään laajalti teollisuuden ja tieteen aloilla korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Sillä on tärkeä rooli puolijohteiden valmistuksessa, optoelektroniikassa, tarkkuuskoneissa ja kemianteollisuudessa. Erityisiä sovelluksia ovat:
1. Puolijohteiden valmistus:RTP CVD SiC renkaatvoidaan käyttää puolijohdelaitteiden lämmitykseen ja jäähdyttämiseen, mikä takaa vakaan lämpötilan säädön ja varmistaa prosessin tarkkuuden ja johdonmukaisuuden.
2. Optoelektroniikka: Erinomaisen lämmönjohtavuutensa ja korkean lämpötilan kestävyyden ansiosta RTPCVD SiC renkaatvoidaan käyttää lasereiden, valokuituviestintälaitteiden ja optisten komponenttien tuki- ja lämmönpoistomateriaaleina.
3. Tarkkuuskoneet: RTP CVD SiC -renkaita voidaan käyttää tarkkuusinstrumenteissa ja laitteissa korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, kuten korkean lämpötilan uuneissa, tyhjiolaitteissa ja kemiallisissa reaktoreissa.
4. Kemianteollisuus: Korroosionkestävyyden ja kemiallisen stabiiliuutensa ansiosta RTP CVD SiC -renkaita voidaan käyttää säiliöissä, putkissa ja reaktoreissa kemiallisissa reaktioissa ja katalyyttisissa prosesseissa.
Epi järjestelmä
RTP-järjestelmä
CVD-järjestelmä
Tuotteen suorituskyky:
1. Suorita prosessi alle 28nm
2. Super korroosionkestävyys
3. Super puhdas suorituskyky
4. Superkovuus
5. Suuri tiheys
6. Korkean lämpötilan kestävyys
7. Kulutuskestävyys
Tuotesovellus:
Piikarbidimateriaalien ominaisuudet ovat korkea kovuus, kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja korkeiden lämpötilojen stabiilisuus. Tuotteet, joilla on erinomainen kokonaisvaltainen suorituskyky, ovat laajalti käytössä kuivaetsaus- ja TF/Diffuusioprosesseissa.
Tuotteen suorituskyky:
1. Suorita prosessi alle 28nm
2. Super korroosionkestävyys
3. Super puhdas suorituskyky
4. Superkovuus
5. Suuri tiheys
6. Korkean lämpötilan kestävyys
7. Kulutuskestävyys
Komposiittiprosessin kehitys:
• Grafiitti +SiC-pinnoite
• Kiinteä CVD SiC
• Sintrattu SiC+CVD
• SicSintered SiC
Useiden tuotetyyppien kehitys:
• Sormus
• Taulukko
• Suskeptori
• Suihkupää