RTP CVD SiC -rengas

Lyhyt kuvaus:

RTP CVD SiC -renkaat koostuvat pääasiassa piikarbidista (SiC), jonka kemiallinen koostumus ja kiderakenne antavat sille erinomaisen suorituskyvyn. Piikarbidi on keraaminen materiaali, jolla on korkea sulamispiste, korkea kovuus ja erinomainen korroosionkestävyys. Sillä on hyvä lämmönjohtavuus ja kemiallinen stabiilisuus korkeissa lämpötiloissa, ja sillä on erinomainen mekaaninen lujuus ja kulutuskestävyys.

 


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Miksi piikarbidietsausrengas?

RTPCVD SiC renkaatkäytetään laajalti teollisuuden ja tieteen aloilla korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Sillä on tärkeä rooli puolijohteiden valmistuksessa, optoelektroniikassa, tarkkuuskoneissa ja kemianteollisuudessa. Erityisiä sovelluksia ovat:

1. Puolijohteiden valmistus:RTP CVD SiC renkaatvoidaan käyttää puolijohdelaitteiden lämmitykseen ja jäähdyttämiseen, mikä takaa vakaan lämpötilan säädön ja varmistaa prosessin tarkkuuden ja johdonmukaisuuden.

2. Optoelektroniikka: Erinomaisen lämmönjohtavuutensa ja korkean lämpötilan kestävyyden ansiosta RTPCVD SiC renkaatvoidaan käyttää lasereiden, valokuituviestintälaitteiden ja optisten komponenttien tuki- ja lämmönpoistomateriaaleina.

3. Tarkkuuskoneet: RTP CVD SiC -renkaita voidaan käyttää tarkkuusinstrumenteissa ja laitteissa korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, kuten korkean lämpötilan uuneissa, tyhjiolaitteissa ja kemiallisissa reaktoreissa.

4. Kemianteollisuus: Korroosionkestävyyden ja kemiallisen stabiiliuutensa ansiosta RTP CVD SiC -renkaita voidaan käyttää säiliöissä, putkissa ja reaktoreissa kemiallisissa reaktioissa ja katalyyttisissa prosesseissa.

 

Epi järjestelmä

Epi järjestelmä

RTP-järjestelmä

RTP-järjestelmä

CVD-järjestelmä

CVD-järjestelmä

Tuotteen suorituskyky:

1. Suorita prosessi alle 28nm

2. Super korroosionkestävyys

3. Super puhdas suorituskyky

4. Superkovuus

5. Suuri tiheys

6. Korkean lämpötilan kestävyys

7. Kulutuskestävyys

kvartsin tuotantolaitteet 4

Tuotesovellus:

Piikarbidimateriaalien ominaisuudet ovat korkea kovuus, kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja korkeiden lämpötilojen stabiilisuus. Tuotteet, joilla on erinomainen kokonaisvaltainen suorituskyky, ovat laajalti käytössä kuivaetsaus- ja TF/Diffuusioprosesseissa.

Tuotteen suorituskyky:

1. Suorita prosessi alle 28nm

2. Super korroosionkestävyys

3. Super puhdas suorituskyky

4. Superkovuus

5. Suuri tiheys

6. Korkean lämpötilan kestävyys

7. Kulutuskestävyys

微信截图_20241018182920
微信截图_20241018182909

Komposiittiprosessin kehitys:

• Grafiitti +SiC-pinnoite

• Kiinteä CVD SiC

• Sintrattu SiC+CVD

• SicSintered SiC

Useiden tuotetyyppien kehitys:

• Sormus

• Taulukko

• Suskeptori

• Suihkupää

Semicera työpaikka
Semiceran työpaikka 2
Semiceran varastotalo
Varustus kone
CNN-käsittely, kemiallinen puhdistus, CVD-pinnoitus
Palvelumme

  • Edellinen:
  • Seuraavaksi: