SemiceraesitteleePuolijohdekasetti, olennainen työkalu kiekkojen turvalliseen ja tehokkaaseen käsittelyyn koko puolijohteiden valmistusprosessin ajan. Tämä erittäin tarkasti suunniteltu kasetti varmistaa, että kiekkojasi säilytetään ja kuljetetaan turvallisesti säilyttäen niiden eheyden kaikissa vaiheissa.
Ylivoimainen suojaus ja kestävyysThePuolijohdekasettiSemicera on rakennettu tarjoamaan maksimaalisen suojan kiekkoillesi. Se on valmistettu kestävistä, likaa kestävistä materiaaleista, ja se suojaa kiekkojasi mahdollisilta vaurioilta ja saastumiselta, joten se on ihanteellinen valinta puhdastiloihin. Kasetin muotoilu minimoi hiukkasten muodostumisen ja varmistaa, että kiekot pysyvät koskemattomina ja turvallisina käsittelyn ja kuljetuksen aikana.
Paranneltu muotoilu optimaaliseen suorituskykyynSemiceranPuolijohdekasettisiinä on huolellisesti suunniteltu muotoilu, joka tarjoaa tarkan kiekkojen kohdistuksen, mikä vähentää kohdistusvirheiden ja mekaanisten vaurioiden riskiä. Kasetin aukot on sijoitettu täydellisesti, jotta jokainen kiekko pysyy tukevasti paikallaan, mikä estää liikkeet, jotka voivat aiheuttaa naarmuja tai muita epätäydellisyyksiä.
Monipuolisuus ja yhteensopivuusThePuolijohdekasettion monipuolinen ja yhteensopiva erikokoisten kiekkojen kanssa, joten se sopii puolijohteiden valmistuksen eri vaiheisiin. Työskenteletpä sitten vakio- tai mukautettujen kiekkojen mittojen kanssa, tämä kasetti mukautuu tarpeisiisi ja tarjoaa joustavuutta valmistusprosesseihisi.
Virtaviivainen käsittely ja tehokkuusSuunniteltu käyttäjää ajatellen,Semicera Semiconductor -kasettion kevyt ja helppo käsitellä, mikä mahdollistaa nopean ja tehokkaan lastaamisen ja purkamisen. Tämä ergonominen muotoilu ei ainoastaan säästä aikaa, vaan myös vähentää inhimillisten virheiden riskiä ja varmistaa sujuvan toiminnan laitoksessasi.
Alan standardien täyttäminenSemicera varmistaa, ettäPuolijohdekasettitäyttää alan korkeimmat laatu- ja luotettavuusstandardit. Jokainen kasetti käy läpi tiukat testit sen varmistamiseksi, että se toimii tasaisesti puolijohteiden valmistuksen vaativissa olosuhteissa. Tämä omistautuminen laadulle varmistaa, että kiekot ovat aina suojattuja ja että alan vaatimat korkeat standardit säilyvät.
Tuotteet | Tuotanto | Tutkimus | Nukke |
Kristalliparametrit | |||
Polytyyppi | 4H | ||
Pinnan suuntausvirhe | <11-20 >4±0,15° | ||
Sähköiset parametrit | |||
Seostusaine | n-tyypin typpi | ||
Resistanssi | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mekaaniset parametrit | |||
Halkaisija | 150,0±0,2 mm | ||
Paksuus | 350±25 μm | ||
Ensisijainen tasainen suuntaus | [1-100]±5° | ||
Ensisijainen litteä pituus | 47,5±1,5 mm | ||
Toissijainen asunto | Ei mitään | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Keula | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Loimi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Etuosan (Si-face) karheus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Rakenne | |||
Mikroputken tiheys | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 ea/cm2 |
Metallien epäpuhtaudet | ≤5E10atomia/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Laatu edessä | |||
Edessä | Si | ||
Pintakäsittely | Si-face CMP | ||
Hiukkaset | ≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm) | NA | |
Naarmut | ≤5ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija | Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA |
Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovia/halkeamia/kontaminaatio | Ei mitään | NA | |
Reunalastut/syvennykset/murtuma/kuusiolevyt | Ei mitään | ||
Polytyyppialueet | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 % | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 % |
Lasermerkintä edessä | Ei mitään | ||
Takana Laatu | |||
Takana viimeistely | C-face CMP | ||
Naarmut | ≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA | |
Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset) | Ei mitään | ||
Selän karheus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Takana lasermerkintä | 1 mm (yläreunasta) | ||
Reuna | |||
Reuna | Viiste | ||
Pakkaus | |||
Pakkaus | Epi-valmis tyhjiöpakkauksella Multi-kiekkokasettipakkaus | ||
*Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, ettei pyyntöä ole. Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen. |