Kuvaus
Säilytämme erittäin tiukat toleranssit levitettäessäSiC pinnoite, käyttämällä erittäin tarkkaa koneistusta tasaisen suskeptoriprofiilin varmistamiseksi. Valmistamme myös materiaaleja, joilla on ihanteelliset sähkövastusominaisuudet käytettäväksi induktiivisesti lämmitetyissä järjestelmissä. Kaikilla valmiilla komponenteilla on puhtaus- ja mittojenmukaisuustodistus.
Yrityksemme tarjoaaSiC pinnoiteprosessipalvelut CVD-menetelmällä grafiitin, keramiikan ja muiden materiaalien pinnalle siten, että hiiltä ja piitä sisältävät erikoiskaasut reagoivat korkeassa lämpötilassa, jolloin saadaan erittäin puhtaita SiC-molekyylejä, molekyylejä, jotka kerrostuvat päällystettyjen materiaalien pinnalle muodostaen SIC-suojakerroksen. Muodostunut SIC on sitoutunut tiukasti grafiittipohjaan, mikä antaa grafiittipohjalle erityisiä ominaisuuksia, jolloin grafiitin pinta on kompakti, huokoinen, korkean lämpötilan, korroosionkestävyys ja hapettumisenkestävyys.
CVD-prosessi tuottaa erittäin korkean puhtauden ja teoreettisen tiheydenSiC pinnoiteilman huokoisuutta. Lisäksi piikarbidi on erittäin kovaa, joten se voidaan kiillottaa peilimäiseksi pinnalle.CVD piikarbidi (SiC) pinnoitetarjosi useita etuja, kuten erittäin puhtaan pinnan ja äärimmäisen kulutuskestävyyden. Koska pinnoitetuilla tuotteilla on erinomainen suorituskyky korkeassa tyhjiössä ja korkeissa lämpötiloissa, ne sopivat ihanteellisesti puolijohdeteollisuuteen ja muihin erittäin puhtaisiin ympäristöihin. Tarjoamme myös pyrolyyttistä grafiittia (PG) valmistettuja tuotteita.
Pääominaisuudet
1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys:
hapettumisenkestävyys on edelleen erittäin hyvä, kun lämpötila on jopa 1600 C.
2. Korkea puhtaus: valmistettu kemiallisella höyrysaostuksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
3. Eroosionkestävyys: korkea kovuus, kompakti pinta, hienojakoisia hiukkasia.
4. Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
CVD-SIC-pinnoitteiden tärkeimmät tekniset tiedot
SiC-CVD | ||
Tiheys | (g/cc) | 3.21 |
Taivutusvoima | (Mpa) | 470 |
Lämpölaajeneminen | (10-6/K) | 4 |
Lämmönjohtavuus | (W/mK) | 300 |
Sovellus
CVD-piikarbidipinnoitetta on jo käytetty puolijohdeteollisuudessa, kuten MOCVD-alustassa, RTP:ssä ja oksidietsauskammiossa, koska piinitridillä on suuri lämpöiskunkestävyys ja se kestää korkean energian plasmaa.
-Piikarbidia käytetään laajalti puolijohteissa ja pinnoitteissa.
Sovellus
Toimituskyky:
10 000 kappaletta / kappaletta kuukaudessa
Pakkaus ja toimitus:
Pakkaus: Vakio ja vahva pakkaus
Polylaukku + laatikko + laatikko + lava
Portti:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Toimitusaika:
Määrä (kpl) | 1-1000 | > 1000 |
Arvioitu Aika (päiviä) | 30 | Neuvoteltavaksi |