Kiinteä SiC-tarkennusrengas

Lyhyt kuvaus:

Semiceran SiC-etsausrenkaat on suunniteltu korkean suorituskyvyn puolijohdeetsaussovelluksiin poikkeuksellisella kestävyydellä ja tarkkuudella. Tämä etsausrengas on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista (SiC), ja se on erinomainen plasmaetsaus-, kuivaetsaus- ja kiekkoetsausprosesseissa. Semiceran edistynyt valmistusprosessi varmistaa, että tämä rengas tarjoaa erinomaisen kulutuskestävyyden ja lämmönkestävyyden vaativimmissakin ympäristöissä. Odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Lähetä meille sähköpostia

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Semiceran Solid SiC Focus Ring on huippuluokan komponentti, joka on suunniteltu täyttämään edistyneen puolijohteiden valmistuksen vaatimukset. Valmistettu erittäin puhtaasta materiaalistaPiikarbidi (SiC), tämä tarkennusrengas on ihanteellinen monenlaisiin puolijohdeteollisuuden sovelluksiin, erityisestiCVD SiC -prosessit, plasmaetsaus jaICPRIE (induktiivisesti kytketty plasmareaktiivinen ionietsaus). Poikkeuksellisesta kulutuskestävyydestään, korkeasta lämpöstabiilisuudestaan ja puhtaudestaan tunnettu se takaa pitkäkestoisen suorituskyvyn kovassakin rasituksessa.

Puolijohteessavohvelikäsittelyssä Solid SiC Focus Rings -renkaat ovat ratkaisevan tärkeitä tarkan syövytyksen ylläpitämisessä kuivaetsaus- ja kiekkoetsaussovelluksissa. SiC-tarkennusrengas auttaa plasman fokusoinnissa prosesseissa, kuten plasmaetsauskoneissa, mikä tekee siitä välttämättömän piikiekkojen syövytyksessä. Kiinteä piikarbidimateriaali tarjoaa vertaansa vailla olevan eroosionkestävyyden, mikä varmistaa laitteidesi pitkän käyttöiän ja minimoi seisokit, mikä on välttämätöntä korkean suorituskyvyn ylläpitämiseksi puolijohteiden valmistuksessa.

Semiceran Solid SiC Focus Ring on suunniteltu kestämään äärimmäisiä lämpötiloja ja aggressiivisia kemikaaleja, joita puolijohdeteollisuudessa yleensä kohtaa. Se on erityisesti suunniteltu käytettäväksi erittäin tarkoissa tehtävissä, kutenCVD SiC pinnoitteet, jossa puhtaus ja kestävyys ovat ensiarvoisen tärkeitä. Tämä tuote kestää erinomaisesti lämpöshokkia ja takaa tasaisen ja vakaan suorituskyvyn ankarimmissa olosuhteissa, mukaan lukien altistuminen korkeille lämpötiloillevohvelietsausprosessit.

Puolijohdesovelluksissa, joissa tarkkuus ja luotettavuus ovat tärkeitä, Solid SiC Focus Ring -renkaalla on keskeinen rooli syövytysprosessien yleisen tehokkuuden parantamisessa. Sen vankka ja suorituskykyinen muotoilu tekee siitä täydellisen valinnan teollisuudelle, joka vaatii erittäin puhtaita komponentteja, jotka toimivat äärimmäisissä olosuhteissa. Onko käytössäCVD SiC rengasSovelluksissa tai osana plasmaetsausprosessia Semiceran Solid SiC Focus Ring auttaa optimoimaan laitteesi suorituskyvyn ja tarjoaa tuotantoprosessien vaatiman pitkäikäisyyden ja luotettavuuden.

Tärkeimmät ominaisuudet:

• Erinomainen kulutuskestävyys ja korkea lämmönkestävyys
• Erittäin puhdasta kiinteää piikarbidia pidentää käyttöikää
• Ihanteellinen plasmaetsaus-, ICP RIE- ja kuivaetsaussovelluksiin
• Täydellinen kiekkojen syövytykseen, erityisesti CVD SiC -prosesseissa
• Luotettava suorituskyky äärimmäisissä ympäristöissä ja korkeissa lämpötiloissa
• Varmistaa tarkkuuden ja tehokkuuden piikiekkojen syövytyksessä

Sovellukset:

• CVD SiC -prosessit puolijohteiden valmistuksessa
• Plasmaetsaus ja ICP RIE -järjestelmät
• Kuivaetsaus ja kiekkoetsausprosessit
• Etsaus ja pinnoitus plasmaetsauskoneissa
• Tarkkuuskomponentit kiekkorenkaisiin ja CVD SiC -renkaisiin