Piikarbidilla päällystetyt grafiittikiekot

1. Erinomainen lämpöstabiilisuus ja johtavuusPiikarbidilla päällystetyt kiekkojen alustamme ovat erinomaisia ​​​​vakaiden ja tasaisten lämpötilojen ylläpitämisessä, mikä on ratkaisevan tärkeää CVD-prosesseissa. Tämä varmistaa tasaisen lämmön jakautumisen, mikä johtaa erinomaiseen ohutkalvon ja pinnoitteen laatuun.

2. TarkkuusvalmistusJokainen kiekkoteline on valmistettu tiukkojen standardien mukaan, mikä varmistaa tasaisen paksuuden ja pinnan sileyden. Tämä tarkkuus on elintärkeää tasaisten kerrostumisnopeuksien ja kalvoominaisuuksien saavuttamiseksi useilla kiekoilla, mikä parantaa yleistä valmistuksen laatua.

3. EpäpuhtaussuojaSiC-pinnoite toimii läpäisemättömänä esteenä ja estää epäpuhtauksien diffuusion suskeptorista kiekkoon. Tämä minimoi kontaminaatioriskit, mikä on kriittistä erittäin puhtaiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa.

4. Kestävyys ja kustannustehokkuusVankka rakenne ja SiC-pinnoite lisäävät kiekkojen alustan kestävyyttä vähentäen suskeptorien vaihtotiheyttä. Tämä vähentää ylläpitokustannuksia ja minimoi seisokkeja, mikä lisää puolijohteiden valmistustoiminnan tehokkuutta.

5. MukauttaminenSemicorex-kiekkotelineet, joissa on piikarbidipinnoite, voidaan räätälöidä vastaamaan erityisiä prosessivaatimuksia, mukaan lukien koon, muodon ja pinnoitteen paksuuden vaihtelut. Tämä joustavuus mahdollistaa suskeptorin optimoinnin vastaamaan eri puolijohteiden valmistusprosessien ainutlaatuisia vaatimuksia. Räätälöintivaihtoehdot mahdollistavat erikoissovelluksiin, kuten suuren volyymin valmistukseen tai tutkimus- ja kehitystyöhön räätälöityjen suskeptorimallien kehittämisen, mikä varmistaa optimaalisen suorituskyvyn tietyissä käyttötapauksissa.