SemiceranPiikarbidiepitaksion suunniteltu täyttämään nykyaikaisten puolijohdesovellusten tiukat vaatimukset. Hyödyntämällä kehittyneitä epitaksiaalisia kasvutekniikoita varmistamme, että jokaisella piikarbidikerroksella on poikkeuksellinen kiteinen laatu, tasaisuus ja minimaalinen virhetiheys. Nämä ominaisuudet ovat ratkaisevan tärkeitä kehitettäessä korkean suorituskyvyn elektroniikkaa, jossa tehokkuus ja lämmönhallinta ovat ensiarvoisen tärkeitä.
ThePiikarbidiepitaksiSemiceran prosessi on optimoitu tuottamaan epitaksiaalikerroksia, joissa on tarkka paksuus ja dopingkontrolli, mikä varmistaa tasaisen suorituskyvyn useissa laitteissa. Tämä tarkkuus on välttämätöntä sähköajoneuvojen, uusiutuvan energian järjestelmien ja suurtaajuisen viestinnän sovelluksissa, joissa luotettavuus ja tehokkuus ovat kriittisiä.
Lisäksi SemiceranPiikarbidiepitaksitarjoaa paremman lämmönjohtavuuden ja korkeamman läpilyöntijännitteen, joten se on ensisijainen valinta laitteille, jotka toimivat äärimmäisissä olosuhteissa. Nämä ominaisuudet pidentävät laitteiden käyttöikää ja parantavat järjestelmän yleistä tehokkuutta erityisesti suuritehoisissa ja korkeissa lämpötiloissa.
Semicera tarjoaa myös mukautusvaihtoehtojaPiikarbidiepitaksi, mikä mahdollistaa räätälöidyt ratkaisut, jotka täyttävät tietyt laitevaatimukset. Olipa kyseessä tutkimus tai laajamittainen tuotanto, epitaksikerrosemme on suunniteltu tukemaan seuraavan sukupolven puolijohdeinnovaatioita, mikä mahdollistaa tehokkaampien, tehokkaampien ja luotettavampien elektronisten laitteiden kehittämisen.
Integroimalla huipputeknologian ja tiukat laadunvalvontaprosessit Semicera varmistaa, että meidänPiikarbidiepitaksituotteet eivät ainoastaan täytä, vaan ylittävät alan standardit. Tämä sitoutuminen huippuosaamiseen tekee epitaksikerroksistamme ihanteellisen perustan edistyneille puolijohdesovelluksille, mikä tasoittaa tietä tehoelektroniikan ja optoelektroniikan läpimurtoille.
| Tuotteet | Tuotanto | Tutkimus | Nukke |
| Kristalliparametrit | |||
| Polytyyppi | 4H | ||
| Pinnan suuntausvirhe | <11-20 >4±0,15° | ||
| Sähköiset parametrit | |||
| Seostusaine | n-tyypin typpi | ||
| Resistanssi | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mekaaniset parametrit | |||
| Halkaisija | 150,0±0,2 mm | ||
| Paksuus | 350±25 μm | ||
| Ensisijainen tasainen suuntaus | [1-100]±5° | ||
| Ensisijainen litteä pituus | 47,5±1,5 mm | ||
| Toissijainen asunto | Ei mitään | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Keula | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Loimi | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Etuosan (Si-face) karheus (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Rakenne | |||
| Mikroputken tiheys | <1 ea/cm2 | <10 e/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metallien epäpuhtaudet | ≤5E10atomia/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Laatu edessä | |||
| Edessä | Si | ||
| Pintakäsittely | Si-face CMP | ||
| Hiukkaset | ≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm) | NA | |
| Naarmut | ≤5ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija | Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA |
| Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovia/halkeamia/kontaminaatio | Ei mitään | NA | |
| Reunalastut/syvennykset/murtuma/kuusiolevyt | Ei mitään | ||
| Polytyyppialueet | Ei mitään | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 % | Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 % |
| Lasermerkintä edessä | Ei mitään | ||
| Takana Laatu | |||
| Takana viimeistely | C-face CMP | ||
| Naarmut | ≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija | NA | |
| Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset) | Ei mitään | ||
| Selän karheus | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Takana lasermerkintä | 1 mm (yläreunasta) | ||
| Reuna | |||
| Reuna | Viiste | ||
| Pakkaus | |||
| Pakkaus | Epi-valmis tyhjiöpakkauksella Multi-kiekkokasettipakkaus | ||
| *Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, ettei pyyntöä ole. Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen. | |||
