Piikarbidisubstraatit|SiC-kiekot

Lyhyt kuvaus:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. on johtava kiekkojen ja edistyneiden puolijohdetarvikkeiden toimittaja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia, luotettavia ja innovatiivisia tuotteita puolijohdevalmistukseen, aurinkosähköteollisuuteen ja muille asiaan liittyville aloille.

Tuotevalikoimaamme kuuluu SiC/TaC-pinnoitettuja grafiittituotteita ja keraamisia tuotteita, jotka kattavat erilaisia ​​materiaaleja, kuten piikarbidin, piinitridin ja alumiinioksidin jne.

Tällä hetkellä olemme ainoa valmistaja, joka tarjoaa puhtausastetta 99,9999 % piikarbidia ja 99,9 % uudelleenkiteytettyä piikarbidia. Suurin SiC-pinnoitepituus voimme tehdä 2640 mm.

 

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-kiekko

Piikarbidin (SiC) yksikidemateriaalilla on suuri kaistan leveys (~ Si 3 kertaa), korkea lämmönjohtavuus (~ Si 3,3 kertaa tai GaAs 10 kertaa), korkea elektronien kyllästymisnopeus (~ Si 2,5 kertaa), korkea läpilyöntisähkö kenttä (~Si 10 kertaa tai GaAs 5 kertaa) ja muut erinomaiset ominaisuudet.

SiC-laitteilla on korvaamattomia etuja korkeiden lämpötilojen, korkean paineen, korkean taajuuden, suuritehoisten elektronisten laitteiden ja äärimmäisten ympäristösovellusten, kuten ilmailu-, sotilas-, ydinenergian jne., alalla. Ne korvaavat käytännössä perinteisten puolijohdemateriaalilaitteiden viat. sovelluksissa, ja niistä on vähitellen tulossa tehopuolijohteiden valtavirta.

4H-SiC Piikarbidisubstraatin tekniset tiedot

Tuote项目

Tekniset tiedot参数

Polytyyppi
晶型

4H-SiC

6H - SiC

Halkaisija
晶圆直径

2 tuumaa | 3 tuumaa | 4 tuumaa | 6 tuumaa

2 tuumaa | 3 tuumaa | 4 tuumaa | 6 tuumaa

Paksuus
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Johtavuus
导电类型

N – tyyppi / Puolieristävä
N型导电片/ 半绝缘片

N – tyyppi / Puolieristävä
N型导电片/ 半绝缘片

Seostusaine
掺杂剂

N2 ( typpi ) V ( vanadiini )

N2 ( typpi ) V ( vanadiini )

Suuntautuminen
晶向

akselilla <0001>
Pois akselista <0001> pois 4°

akselilla <0001>
Pois akselista <0001> pois 4°

Resistanssi
电阻率

0,015 ~ 0,03 ohm-cm
(4H-N)

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(6H-N)

Mikroputkien tiheys (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Jousi / loimi
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

Pinta
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

Luokka
产品等级

Tuotanto / Tutkimusluokka

Tuotanto / Tutkimusluokka

Crystal Stacking Sequence
堆积方式

ABCB

ABCABC

Hilaparametri
晶格参数

a = 3,076 A, c = 10,053 A

a = 3,073 A, c = 15,117 A

Eg/eV (kaistaväli)
禁带宽度

3,27 eV

3,02 eV

ε (Dielektrinen vakio)
介电常数

9.6

9.66

Taitekerroin
折射率

n0 = 2,719 ne = 2,777

n0 = 2,707, ne = 2,755

6H-SiC piikarbidin alustan tekniset tiedot

Tuote项目

Tekniset tiedot参数

Polytyyppi
晶型

6H-SiC

Halkaisija
晶圆直径

4 tuumaa | 6 tuumaa

Paksuus
厚度

350μm ~ 450μm

Johtavuus
导电类型

N – tyyppi / Puolieristävä
N型导电片/ 半绝缘片

Seostusaine
掺杂剂

N2 (typpi)
V (vanadiini)

Suuntautuminen
晶向

<0001> pois 4°± 0,5°

Resistanssi
电阻率

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(6H-N-tyyppi)

Mikroputkien tiheys (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Jousi / loimi
翘曲度

≤25 μm

Pinta
表面处理

Si Face: CMP, Epi-Ready
C Pinta: Optinen kiillotus

Luokka
产品等级

Tutkimusluokka

Semicera työpaikka Semiceran työpaikka 2 Varustus kone CNN-käsittely, kemiallinen puhdistus, CVD-pinnoitus Palvelumme


  • Edellinen:
  • Seuraavaksi: