Piikarbidin (SiC) yksikidemateriaalilla on suuri kaistan leveys (~ Si 3 kertaa), korkea lämmönjohtavuus (~ Si 3,3 kertaa tai GaAs 10 kertaa), korkea elektronien kyllästymisnopeus (~ Si 2,5 kertaa), korkea läpilyöntisähkö kenttä (~Si 10 kertaa tai GaAs 5 kertaa) ja muut erinomaiset ominaisuudet.
SiC-laitteilla on korvaamattomia etuja korkeiden lämpötilojen, korkean paineen, korkean taajuuden, suuritehoisten elektronisten laitteiden ja äärimmäisten ympäristösovellusten, kuten ilmailu-, sotilas-, ydinenergian jne., alalla. Ne korvaavat käytännössä perinteisten puolijohdemateriaalilaitteiden viat. sovelluksissa, ja niistä on vähitellen tulossa tehopuolijohteiden valtavirta.
4H-SiC Piikarbidisubstraatin tekniset tiedot
Tuote项目 | Tekniset tiedot参数 | |
Polytyyppi | 4H-SiC | 6H - SiC |
Halkaisija | 2 tuumaa | 3 tuumaa | 4 tuumaa | 6 tuumaa | 2 tuumaa | 3 tuumaa | 4 tuumaa | 6 tuumaa |
Paksuus | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Johtavuus | N – tyyppi / Puolieristävä | N – tyyppi / Puolieristävä |
Seostusaine | N2 ( typpi ) V ( vanadiini ) | N2 ( typpi ) V ( vanadiini ) |
Suuntautuminen | akselilla <0001> | akselilla <0001> |
Resistanssi | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Mikroputkien tiheys (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Jousi / loimi | ≤25 μm | ≤25 μm |
Pinta | DSP/SSP | DSP/SSP |
Luokka | Tuotanto / Tutkimusluokka | Tuotanto / Tutkimusluokka |
Crystal Stacking Sequence | ABCB | ABCABC |
Hilaparametri | a = 3,076 A, c = 10,053 A | a = 3,073 A, c = 15,117 A |
Eg/eV (kaistaväli) | 3,27 eV | 3,02 eV |
ε (Dielektrinen vakio) | 9.6 | 9.66 |
Taitekerroin | n0 = 2,719 ne = 2,777 | n0 = 2,707, ne = 2,755 |
6H-SiC piikarbidin alustan tekniset tiedot
Tuote项目 | Tekniset tiedot参数 |
Polytyyppi | 6H-SiC |
Halkaisija | 4 tuumaa | 6 tuumaa |
Paksuus | 350μm ~ 450μm |
Johtavuus | N – tyyppi / Puolieristävä |
Seostusaine | N2 (typpi) |
Suuntautuminen | <0001> pois 4°± 0,5° |
Resistanssi | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Mikroputkien tiheys (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Jousi / loimi | ≤25 μm |
Pinta | Si Face: CMP, Epi-Ready |
Luokka | Tutkimusluokka |