TaC-pinnoitetut epitaksiaaliset kiekotkäytetään yleensä korkean suorituskyvyn optoelektronisten laitteiden, teholaitteiden, antureiden ja muiden alojen valmistukseen. Tämäepitaksiaalinen kiekkojen kantoaineviittaa laskeutumiseenTaCohut kalvo substraatille kiteen kasvatusprosessin aikana muodostaen kiekon, jolla on tietty rakenne ja suorituskyky myöhempää laitteen valmistusta varten.
Valmistuksessa käytetään yleensä kemiallista höyrypinnoitustekniikkaa (CVD).TaC-pinnoitetut epitaksiaaliset kiekot. Saattamalla metallin orgaaniset esiasteet ja hiilen lähdekaasut reagoimaan korkeassa lämpötilassa, TaC-kalvo voidaan kerrostaa kidealustan pinnalle. Tällä kalvolla voi olla erinomaiset sähköiset, optiset ja mekaaniset ominaisuudet ja se soveltuu erilaisten korkean suorituskyvyn laitteiden valmistukseen.
Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologianCVD TaCT&K-osaston yhteisillä ponnisteluilla. SiC-kiekkojen kasvuprosessissa vikoja syntyy helposti, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekkoista TaC:lla ja ilman, sekä Simiceran osia yksikiteiden kasvattamiseen.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
