TaC-pinnoitetut grafiittiohjainrenkaatviittaavat ohuen kerroksen laskeutumiseentantaalikarbidigrafiittiohjainrenkaan pinnalle parantaakseen sen kulutuskestävyyttä, korkeita lämpötiloja ja kemiallista vakautta. Tämä pinnoite muodostetaan yleensä grafiittiohjainrenkaan pinnalle tekniikoilla, kuten fysikaalisella höyrypinnoituksella (PVD) tai kemiallisella höyrypinnoituksella (CVD).
Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologianCVD TaCT&K-osaston yhteisillä ponnisteluilla. SiC-kiekkojen kasvuprosessissa vikoja syntyy helposti, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekkoista TaC:lla ja ilman, sekä Simiceran osia yksikiteiden kasvattamiseen.
TaC-pinnoitettujen grafiittiohjainrenkaiden pääominaisuuksia ovat:
1. Korkean lämpötilan kestävyys: TaC-pinnoitteella on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius ja se voi säilyttää vakauden korkeissa lämpötiloissa.
2. Kulutuskestävyys: Tantaalikarbidin ohuen kerroksen korkea kovuus antaa ohjausrenkaalle hyvän kulutuskestävyyden ja pidentää sen käyttöikää.
3. Kemiallinen stabiilisuus: TaC-pinnoitteella on korkea stabiilisuus kemiallista korroosiota vastaan, joten se soveltuu käytettäväksi joissakin syövyttävissä aineissa.
4. Vähennä kitkaa: TaC-pinnoite voi tehokkaasti vähentää kitkaa grafiittiohjainrenkaan ja muiden komponenttien välillä ja parantaa mekaanisten tiivisteiden tehokkuutta.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
