Johdatus CVD TaC -pinnoitteeseen:
CVD TaC Coating on tekniikka, joka käyttää kemiallista höyrypinnoitusta tantaalikarbidipinnoitteen (TaC) kerrostamiseen alustan pinnalle. Tantaalikarbidi on korkean suorituskyvyn keraaminen materiaali, jolla on erinomaiset mekaaniset ja kemialliset ominaisuudet. CVD-prosessi tuottaa tasaisen TaC-kalvon substraatin pinnalle kaasureaktion kautta.
Pääominaisuudet:
Erinomainen kovuus ja kulutuskestävyys: Tantaalikarbidilla on erittäin korkea kovuus, ja CVD TaC -pinnoite voi parantaa merkittävästi alustan kulutuskestävyyttä. Tämä tekee pinnoitteesta ihanteellisen käytettäväksi erittäin kuluvissa ympäristöissä, kuten leikkaustyökaluissa ja muoteissa.
Korkean lämpötilan vakaus: TaC-pinnoitteet suojaavat kriittisiä uunin ja reaktorin komponentteja jopa 2200 °C:n lämpötiloissa osoittaen hyvää stabiilisuutta. Se säilyttää kemiallisen ja mekaanisen stabiilisuuden äärimmäisissä lämpötiloissa, mikä tekee siitä sopivan korkean lämpötilan käsittelyyn ja sovelluksiin korkeissa lämpötiloissa.
Erinomainen kemiallinen stabiilisuus: Tantaalikarbidilla on vahva korroosionkestävyys useimpia happoja ja emäksiä vastaan, ja CVD TaC -pinnoite voi tehokkaasti estää alustan vaurioitumisen syövyttävissä ympäristöissä.
Korkea sulamispiste: Tantaalikarbidilla on korkea sulamispiste (noin 3880°C), mikä mahdollistaa CVD TaC Coating -pinnoitteen käytön äärimmäisen korkeissa lämpötiloissa ilman sulamista tai hajoamista.
Erinomainen lämmönjohtavuus: TaC-pinnoitteella on korkea lämmönjohtavuus, mikä auttaa tehokkaasti poistamaan lämpöä korkean lämpötilan prosesseissa ja estämään paikallista ylikuumenemista.
Mahdolliset sovellukset:
• Galliumnitridi (GaN) ja piikarbidi epitaksiaaliset CVD-reaktorin komponentit, mukaan lukien kiekkotelineet, satelliittilautaset, suihkupäät, katot ja suskeptorit
• Piikarbidin, galliumnitridin ja alumiininitridin (AlN) kiteiden kasvukomponentit, mukaan lukien upokkaat, siemenpidikkeet, ohjausrenkaat ja suodattimet
• Teolliset komponentit, mukaan lukien vastuslämmityselementit, ruiskutussuuttimet, peiterenkaat ja juotospistokkeet
Sovelluksen ominaisuudet:
• Lämpötila vakaa yli 2000°C, mikä mahdollistaa käytön äärimmäisissä lämpötiloissa
• Kestää vetyä (Hz), ammoniakkia (NH3), monosilaania (SiH4) ja piitä (Si) ja tarjoaa suojaa ankarissa kemiallisissa ympäristöissä
• Sen lämpöiskunkestävyys mahdollistaa nopeammat käyttöjaksot
• Grafiitilla on vahva tarttuvuus, mikä takaa pitkän käyttöiän eikä pinnoitteen delaminaatiota.
• Erittäin korkea puhtaus tarpeettomien epäpuhtauksien ja epäpuhtauksien poistamiseksi
• Mukautettu pinnoite tiukoille mittatoleransseille
Tekniset tiedot:
Tiheiden tantaalikarbidipinnoitteiden valmistus CVD:llä：
TAC-pinnoite, jolla on korkea kiteisyys ja erinomainen tasaisuus:
CVD TAC COATING Technical Parameters_Semicera:
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja.
