TaC pinnoiteon tärkeä materiaalipinnoite, joka valmistetaan yleensä grafiittipohjaiselle metalliorgaanisen kemiallisen höyrypinnoitustekniikalla (MOCVD). Tällä pinnoitteella on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea kovuus, erinomainen kulutuskestävyys, korkean lämpötilan kestävyys ja kemiallinen stabiilisuus, ja se soveltuu erilaisiin vaativiin teknisiin sovelluksiin.
MOCVD-tekniikka on yleisesti käytetty ohutkalvon kasvatustekniikka, joka kerrostaa halutun yhdistekalvon alustan pinnalle saattamalla metalliorgaanisten esiasteiden reagoimaan reaktiivisten kaasujen kanssa korkeissa lämpötiloissa. ValmistettaessaTaC pinnoiteValitsemalla sopivat metalliorgaaniset esiasteet ja hiilen lähteet, säätelemällä reaktio-olosuhteita ja kerrostumisparametreja, tasainen ja tiheä TaC-kalvo voidaan kerrostaa grafiittipohjalle.
Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologianCVD TaCT&K-osaston yhteisillä ponnisteluilla. SiC-kiekkojen kasvuprosessissa vikoja syntyy helposti, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekkoista TaC:lla ja ilman, sekä Simiceran osia yksikiteiden kasvattamiseen.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
