TaC Coated Plate on piikarbidin epitaksiaalisiin prosesseihin suunniteltu erikoislevy, joka on valmistettu tarkasti korkealaatuisesta grafiittimateriaalista. Sen pinta on päällystetty huolellisesti tantaalikarbidilla (TaC), yhdisteellä, joka tunnetaan poikkeuksellisesta puhtaudesta ja lujuudestaan. TaC-pinnoite parantaa levyn kestävyyttä ja kestävyyttä korkeita lämpötiloja vastaan, mikä tekee siitä ihanteellisen SiC-epitaksiaalisten prosessien vaativiin olosuhteisiin.
Tämä innovatiivinen TaC Coated Plate on erikoislevy, joka on suunniteltu käytettäviksi piikarbidin epitaksiaalisissa prosesseissa ja joka on valmistettu tarkasti korkealaatuisesta grafiittimateriaalista. TaC Coated Plate -levyn pinta on päällystetty huolellisesti tantaalikarbidilla (TaC), yhdisteellä, joka tunnetaan poikkeuksellisesta puhtaudesta ja lujuudestaan. toimii luotettavana alustana kiekkojen kuljettamiseen piikarbidin epitaksiaalisen kasvun eri vaiheissa. Sen erittäin puhdas grafiittipohja tarjoaa vakaan ja inertin pinnan, kun taas TaC-pinnoite lisää ylimääräisen suojakerroksen kemiallisia reaktioita ja kulumista vastaan.
SemicaikakausiTaC Coated Plate on räätälöity asiakkaiden erityisvaatimusten mukaan, mikä varmistaa optimaalisen suorituskyvyn ja yhteensopivuuden heidän piikarbidiepitaksiaalisten järjestelmiensä kanssa. Olipa kyse koosta, muodosta tai muista tiedoista, nämä levyt on räätälöity vastaamaan jokaisen sovelluksen ainutlaatuisia tarpeita.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
