Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Tantaalikarbidilla päällystettyjä kiekkojen alustaa käytetään laajalti kiekkojen käsittely- ja käsittelyprosesseissa puolijohteiden valmistusprosesseissa. Ne tarjoavat vakaan tuen ja suojan varmistaakseen kiekkojen turvallisuuden, tarkkuuden ja johdonmukaisuuden valmistusprosessin aikana. Tantaalikarbidipinnoitteet voivat pidentää kantoaineen käyttöikää, vähentää kustannuksia ja parantaa puolijohdetuotteiden laatua ja luotettavuutta.
Tantaalikarbidilla päällystetyn kiekon alustan kuvaus on seuraava:
1. Materiaalin valinta: Tantaalikarbidi on materiaali, jolla on erinomainen suorituskyky, korkea kovuus, korkea sulamispiste, korroosionkestävyys ja erinomaiset mekaaniset ominaisuudet, joten sitä käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosessissa.
2. Pintapinnoitus: Tantaalikarbidipinnoite levitetään kiekon alustan pinnalle erityisellä pinnoitusprosessilla yhtenäisen ja tiheän tantaalikarbidipinnoitteen muodostamiseksi. Tämä pinnoite voi tarjota lisäsuojaa ja kulutuskestävyyttä samalla kun sillä on hyvä lämmönjohtavuus.
3. Tasaisuus ja tarkkuus: Tantaalikarbidilla päällystetyllä kiekkotelineellä on korkea tasoisuus ja tarkkuus, mikä varmistaa kiekkojen vakauden ja tarkkuuden valmistusprosessin aikana. Alustan pinnan tasaisuus ja viimeistely ovat tärkeitä kiekon laadun ja suorituskyvyn varmistamiseksi.
4. Lämpötilan stabiilius: Tantaalikarbidilla päällystetyt kiekkokannattimet voivat säilyttää vakauden korkeissa lämpötiloissa ilman muodonmuutoksia tai löystymistä, mikä varmistaa kiekkojen vakauden ja johdonmukaisuuden korkean lämpötilan prosesseissa.
5. Korroosionkestävyys: Tantaalikarbidipinnoitteilla on erinomainen korroosionkestävyys, ne kestävät kemikaalien ja liuottimien eroosiota ja suojaavat kantajaa neste- ja kaasukorroosiolta.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
