Tantaalikarbidilla päällystetty grafiittilevyon grafiittimateriaalia, jossa on ohut kerrostantaalikarbidisubstraatin pinnalle. Ohut kerros tantaalikarbidia muodostetaan yleensä grafiittisubstraatin pinnalle tekniikoilla, kuten fysikaalisella höyrypinnoituksella (PVD) tai kemiallisella höyrypinnoituksella (CVD). Tällä pinnoitteella on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea kovuus, erinomainen kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja korkeiden lämpötilojen kestävyys.
Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologianCVD TaCT&K-osaston yhteisillä ponnisteluilla. SiC-kiekkojen kasvuprosessissa vikoja syntyy helposti, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekkoista TaC:lla ja ilman, sekä Simiceran osia yksikiteiden kasvattamiseen.
Tantaalikarbidilla päällystetyn grafiittilevyn tärkeimmät edut ovat:
1. Korkean lämpötilan kestävyys: Tantaalikarbidilla on korkea sulamispiste ja erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius, joten päällystetty grafiittilevy soveltuu käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa.
2. Korroosionkestävyys: Tantaalikarbidipinnoite kestää monien kemiallisten syövyttävien aineiden eroosiota ja pidentää materiaalin käyttöikää.
3. Korkea kovuus: Tantaalikarbidin ohuen kerroksen korkea kovuus tarjoaa hyvän kulutuskestävyyden ja soveltuu korkeaa kulutuskestävyyttä vaativiin sovelluksiin.
4. Kemiallinen stabiilisuus: Tantaalikarbidipinnoitteella on erinomainen kemiallisen korroosionkestävyys ja se soveltuu käytettäväksi joissakin syövyttävissä aineissa.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
