Tantaalikarbidilla päällystetty suskeptoritukilevyon suskeptori tai tukirakenne, joka on peitetty ohuella kerroksellatantaalikarbidi. Tämä pinnoite voidaan muodostaa suskeptorin pinnalle tekniikoilla, kuten fysikaalinen höyrypinnoitus (PVD) tai kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), mikä antaa suskeptorille erinomaiset ominaisuudettantaalikarbidi.
Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantoaineille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen sietokyvyn, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotteen laatua (Grafiittipinnoitettu TaC-suskeptori) ja pidentää reaktorin keskeisten komponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidin TaC-pinnoitteen käyttö on ratkaistava reunaongelma ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera on läpimurto ratkaissut tantaalikarbidipinnoitustekniikan (CVD) saavuttaen kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologianCVD TaCT&K-osaston yhteisillä ponnisteluilla. SiC-kiekkojen kasvuprosessissa vikoja syntyy helposti, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekkoista TaC:lla ja ilman, sekä Simiceran osia yksikiteiden kasvattamiseen.
Tantaalikarbidilla päällystettyjen tukilevyjen tärkeimmät ominaisuudet ovat:
1. Korkean lämpötilan stabiilius: Tantaalikarbidilla on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius, joten päällystetty pohjatukilevy sopii tukitarpeisiin korkeissa lämpötiloissa.
2. Korroosionkestävyys: Tantaalikarbidipinnoitteella on hyvä korroosionkestävyys, se kestää kemiallista korroosiota ja hapettumista ja pidentää pohjan käyttöikää.
3. Korkea kovuus ja kulutuskestävyys: Tantaalikarbidipinnoitteen korkea kovuus antaa pohjatukilevylle hyvän kulutuskestävyyden, mikä sopii tilanteisiin, joissa vaaditaan suurta kulutuskestävyyttä.
4. Kemiallinen stabiilisuus: Tantaalikarbidilla on korkea stabiilisuus useille kemiallisille aineille, joten päällystetty pohjalevy toimii hyvin joissakin syövyttävissä ympäristöissä.
TaC:lla ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi SemiceranTaC-pinnoitetut tuotteetniillä on pidempi käyttöikä ja parempi korkean lämpötilan kestävyys verrattunaSiC pinnoitteet.Laboratoriomittaukset ovat osoittaneet, että meidänTaC-pinnoitteetvoi toimia jatkuvasti jopa 2300 celsiusasteen lämpötiloissa pitkiä aikoja. Alla on esimerkkejä näytteistämme:
