Kiekkojen käsittelyvarsion keskeinen laite, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosessissa käsittelyyn, siirtoon ja sijoittamiseenvohveleita. Se koostuu yleensä robottivarresta, tarttujasta ja ohjausjärjestelmästä, jossa on tarkat liikkeet ja paikannusominaisuudet.Kiekkojen käsittelyvarretkäytetään laajalti puolijohteiden valmistuksen eri linkkeissä, mukaan lukien prosessivaiheet, kuten kiekkojen lataus, puhdistus, ohutkalvopinnoitus, etsaus, litografia ja tarkastus. Sen tarkkuus, luotettavuus ja automaatio ovat välttämättömiä tuotantoprosessin laadun, tehokkuuden ja johdonmukaisuuden varmistamiseksi.
Kiekon käsittelyvarren päätoiminnot ovat:
1. Kiekkojen siirto: kiekkojen käsittelyvarsi pystyy siirtämään kiekkoja tarkasti paikasta toiseen, esimerkiksi ottamaan kiekkoja säilytystelineestä ja sijoittamaan ne käsittelylaitteeseen.
2. Paikannus ja suuntaus: Kiekon käsittelyvarsi pystyy sijoittamaan ja suuntaamaan kiekon tarkasti varmistaakseen oikean kohdistuksen ja asennon myöhempiä käsittely- tai mittaustoimenpiteitä varten.
3. Kiinnitys ja irrotus: Kiekkojen käsittelyvarret on yleensä varustettu tarttujalla, joilla voidaan turvallisesti puristaa kiekkoja ja vapauttaa ne tarvittaessa varmistaakseen kiekkojen turvallisen siirron ja käsittelyn.
4. Automaattinen ohjaus: Kiekkojen käsittelyvarsi on varustettu edistyneellä ohjausjärjestelmällä, joka voi automaattisesti suorittaa ennalta määrätyt toimintajaksot, parantaa tuotannon tehokkuutta ja vähentää inhimillisiä virheitä.
Ominaisuudet ja edut
1. Tarkat mitat ja lämpöstabiilisuus.
2.High ominaisjäykkyys ja erinomainen terminen tasaisuus, pitkäaikainen käyttö ei ole helppo taivuttaa muodonmuutoksia.
3.Sillä on sileä pinta ja hyvä kulutuskestävyys, joten se käsittelee sirua turvallisesti ilman hiukkaskontaminaatiota.
4.Piikarbidin resistiivisyys 106-108Ω, ei-magneettinen, vastaa anti-ESD-spesifikaatioita; Se voi estää staattisen sähkön kertymisen sirun pinnalle.
5.Hyvä lämmönjohtavuus, alhainen laajenemiskerroin.
