Semicera tarjoaa erikoistuneita tantaalikarbidipinnoitteita (TaC) erilaisille komponenteille ja kantajille.Semiceran johtava pinnoitusprosessi mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitteiden (TaC) korkean puhtauden, korkean lämpötilan vakauden ja korkean kemikaalien sietokyvyn saavuttamisen, mikä parantaa SIC/GAN-kiteiden ja EPI-kerrosten tuotelaatua.Grafiittipäällysteinen TaC-suskeptori) ja pidentää keskeisten reaktorikomponenttien käyttöikää. Tantaalikarbidi-TaC-pinnoitteen käyttö ratkaisee reunaongelman ja parantaa kiteen kasvun laatua, ja Semicera Semicera on tehnyt läpimurron tantaalikarbidipinnoitusteknologiassa (CVD) ja saavuttanut kansainvälisen edistyneen tason.
Vuosien kehitystyön jälkeen Semicera on valloittanut teknologian, joka...CVD-takuututkimus- ja kehitysosaston yhteisillä ponnisteluilla. Piikarbidikiekoissa on helppo esiintyä vikoja kasvuprosessissa, mutta käytön jälkeenTaC, ero on merkittävä. Alla on vertailu kiekoista TaC:n kanssa ja ilman sitä sekä Simiceran osista yksittäisten kiteiden kasvua varten.
TaC:n kanssa ja ilman
TaC:n käytön jälkeen (oikealla)
Lisäksi Semiceran TaC-pinnoitteiden käyttöikä on pidempi ja ne kestävät korkeita lämpötiloja paremmin kuin piikarbidipinnoitteet. Pitkän laboratoriomittausdatan perusteella TaC-pinnoitteemme voi toimia pitkään enintään 2300 celsiusasteen lämpötilassa. Seuraavassa on joitakin esimerkkejämme:
(a) Kaaviokuva piikarbidi-yksikiteisen harkon kasvatuslaitteesta PVT-menetelmällä (b) Yläpuolella oleva TaC-päällystetty siemenkiinnike (mukaan lukien piikarbidi-siemen) (c) TAC-päällystetty grafiittiohjausrengas






