Kiekkokantajan käyttöönotto
TUOTELUOKKA
▶Kiekkojen kantojärjestelmä PECVD- ja TALOX-prosesseille
• PECVD- ja TALOX-grafiittivene (M4–M12)
• Pystysuora SM-vene (M4, M6)
• Implantti- ja suihkugrafiittiosa (M4~M6)
• C/C-alusta ja keraaminen pinnoite
• Metallinen RIE-tarjotin ja keraaminen pinnoite
• Tyhjiötiivistys: O-rengas ja SQ-rengas
▶Tekstuuri- ja märkäetsaussiirtoprosessi
• LSC H-kantokansi tai kasetti (M4~M12)
• LSC V-kantokansi tai kasetti (M4~M12)
• ASC-teline tai kasetti (M4, M6)
• Vetoketjullinen kuljetus- ja säilytyslaatikko (M4~M12)
• Kuljetuspyöräsarja (rullasarja)
▶Aurinkokennojen kantolaite ja metallikantolaite
• TRC-kuljetin tai kasetti (M4~M12)
• Lipas (vyöllä)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
19P6-216CT (työkierre M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
23P7-308CT (leveys/naaras M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
22P/7-294TP (laippa/nasta M4~M12)
GRAFIITTIVENE (H-tyyppi)
W182-22P7-294CT (laippa/sisäkierre M12)
W182-21P6-240CT (laippa/sisäkierre M12)
WF-KANTOLAUKKU JA SÄILYTYSLAATIKKO (~M12)
C/C-TARJOTIN TAI -KULJETIN (M4~M10)
C/C-TARJOTIN TAI -KULJETIN (M4~M10)
VERTIKALLINENE (SM) M6
LSC-H-KANTAJA (~M12)
LSC-V-KANTA (~M12)
ASC-KANTA (~M6)
TRC-KANNAKE (~M12)
TRC-KANNAKE (~M12)
GRAFIITTIVENE (M12)
Kiekkojen kantojärjestelmä PECVD-prosessille
▶ GRAFIITTIVENE (CT-suunnittelu) M10/M12-prosessi
• ERITYINEN SUUNNITTELUKONSEPTTI
▶ GRAFIITTIVENE (CT-suunnittelu) M4/M6-prosessi
▶ VENEEN lisävarusteet
▶ PYSTYSUORA VENEEN KIERRE – 161,7 MM:N KIERRE
▶ PYSTYSUORA VENEEN KIINNITYS – 166 MM:N KIINNITYS
▶ PYSTYSUORA VENEEN MUOTO - 161,7 mm, 166 mm KIEKKOJEN MUOTO
Aurinkokennojen kantolaite ja metallinen TRC-kantolaite
TYYPPI: Automaatio
Kiekon koko: ① 156 × 156 mm ② 156,75 × 156,75 mm
③161,7 x 161,7 mm ④166 x 166 mm
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
KÄYTTÖ: Kanto (kasetti)
KAPASITEETTI: 100 arkkia
JÄLJEYTYS: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
MITAT: Noin 559 × 220 × 220 MM
Noin 712 × 260 × 260 mm
ETU: Tunnelma
MATERIAALI: LIEKKI, SIVUTANKO - alumiini (anodisoitu)
SIVULEVY-POM (antistaattinen)
Pohjapalkin kansi - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALLIKANTA (KÄYTTÄJÄLINJA)
TRC-METALLIKANTA (KÄYTTÄJÄLINJA)
TRC-METALLIKANTA (KÄYTTÄJÄLINJA)
SUIHKULAUTANEN JA IMPLANTTI, KANTOKONE
