Piikarbidipäällysteinen grafiittityökalu epitaksiaan

Lyhyt kuvaus:

Semicera tarjoaa kattavan valikoiman suskeptoreita ja grafiittikomponentteja, jotka on suunniteltu erilaisiin epitaksireaktoreihin.

Strategisten kumppanuuksien alan johtavien laitevalmistajien, laajan materiaaliosaamisen ja edistyneiden valmistuskapasiteetin ansiosta Semicera toimittaa räätälöityjä malleja, jotka täyttävät sovelluksesi erityisvaatimukset. Sitoutumisemme huippuosaamiseen varmistaa, että saat optimaaliset ratkaisut epitaksireaktoritarpeisiisi.

 

 


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Kuvaus

Yrityksemme tarjoaa SiC-pinnoituspalveluita CVD-menetelmällä grafiitin, keraamien ja muiden materiaalien pinnalle. Pinnoitusprosessissa hiiltä ja piitä sisältävät erityiset kaasut reagoivat korkeassa lämpötilassa ja tuottavat erittäin puhtaita SiC-molekyylejä. Nämä molekyylit kerrostuvat pinnoitettujen materiaalien pinnalle ja muodostavat SIC-suojakerroksen.

noin (1)

noin (2)

Tärkeimmät ominaisuudet

1. Erittäin puhdasta piikarbidipinnoitettua grafiittia

2. Erinomainen lämmönkestävyys ja terminen tasaisuus

3. Hieno piikarbidikristallipäällyste sileän pinnan aikaansaamiseksi

4. Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät ominaisuudet

SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne FCC β-vaihe
Tiheys g/cm³ 3.21
Kovuus Vickersin kovuus 2500
Raekoko μm 2–10
Kemiallinen puhtaus % 99.99995
Lämpökapasiteetti J·kg-1 ·K-1 640
Sublimaatiolämpötila 2700
Flexuraalinen voima MPa (RT 4-piste) 415
Youngin moduuli Gpa (4pt mutka, 1300 ℃) 430
Lämpölaajeneminen (CTE) 10-6K-1 4.5
Lämmönjohtavuus (W/mK) 300
Semiceran työpaikka
Semiceran työpaikka 2
Laitteiden kone
CNN-käsittely, kemiallinen puhdistus, CVD-pinnoitus
Palvelumme

  • Edellinen:
  • Seuraavaksi: