2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeava P-tyypin 4H-SiC-substraatti

Lyhyt kuvaus:

‌4° off-kulma P-tyypin 4H-SiC-substraatti‌ on erityinen puolijohdemateriaali, jossa "4° off-kulma" tarkoittaa kiekon kiteen suuntauskulmaa, joka on 4 astetta poikkeavasta kulmasta, ja "P-tyyppi" tarkoittaa puolijohteen johtavuustyyppi. Tällä materiaalilla on tärkeitä sovelluksia puolijohdeteollisuudessa, erityisesti tehoelektroniikan ja suurtaajuuselektroniikan aloilla.


Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Semiceran 2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeavat P-tyypin 4H-SiC-substraatit on suunniteltu vastaamaan korkean suorituskyvyn teho- ja RF-laitteiden valmistajien kasvaviin tarpeisiin. 4° kulmasta poikkeava suuntaus varmistaa optimaalisen epitaksiaalisen kasvun, mikä tekee tästä substraatista ihanteellisen perustan useille puolijohdelaitteille, mukaan lukien MOSFETit, IGBT:t ja diodit.

Tällä 2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeavalla P-tyypin 4H-SiC-substraatilla on erinomaiset materiaaliominaisuudet, mukaan lukien korkea lämmönjohtavuus, erinomainen sähköinen suorituskyky ja erinomainen mekaaninen stabiilisuus. Kulmasta poikkeava suuntaus auttaa vähentämään mikroputkien tiheyttä ja edistää tasaisempia epitaksiaalikerroksia, mikä on ratkaisevan tärkeää lopullisen puolijohdelaitteen suorituskyvyn ja luotettavuuden parantamiseksi.

Semiceran 2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeavia P-tyypin 4H-SiC-substraatteja on saatavana useilla eri halkaisijoilla, jotka vaihtelevat 2 tuumasta 6 tuumaan, erilaisten valmistusvaatimusten täyttämiseksi. Substraatimme on tarkasti suunniteltu tarjoamaan tasaiset seostustasot ja korkealaatuiset pintaominaisuudet varmistaen, että jokainen kiekko täyttää edistyneiden elektronisten sovellusten vaatimat tiukat vaatimukset.

Semiceran sitoutuminen innovaatioihin ja laatuun varmistaa, että 2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeavat P-tyypin 4H-SiC-substraatimme tarjoavat tasaisen suorituskyvyn monissa sovelluksissa tehoelektroniikasta korkeataajuisiin laitteisiin. Tämä tuote tarjoaa luotettavan ratkaisun seuraavan sukupolven energiatehokkaille, korkean suorituskyvyn puolijohteille ja tukee teknologista kehitystä sellaisilla aloilla kuin autoteollisuus, televiestintä ja uusiutuva energia.

Kokoon liittyvät standardit

Koko

2-tuumainen

4 tuumaa

Halkaisija 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Pinta-orientaatio 4° kohti <11-20>±0,5° 4° kohti <11-20>±0,5°
Ensisijainen litteä pituus 16,0 mm±1,5 mm 32.5mm±2mm
Toissijainen litteä pituus 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Ensisijainen tasainen suuntaus Rinnakkain <11-20>±5,0° Rinnakkain<11-20>±5,0c
Toissijainen tasainen suuntaus 90°CW ensisijaisesta ± 5,0°, piipuoli ylöspäin 90°CW ensisijaisesta ± 5,0°, piipuoli ylöspäin
Pintakäsittely C-Face: Optinen kiillotus, Si-Face: CMP C-Face: Optical Polish, Si-Face: CMP
Wafer Edge Viistot Viistot
Pinnan karheus Si-Face Ra < 0,2 nm Si-Face Ra < 0,2 nm
Paksuus 350,0±25,0 um 350,0±25,0 um
Polytyyppi 4H 4H
Doping p-tyyppi p-tyyppi

Kokoon liittyvät standardit

Koko

6-tuumainen
Halkaisija 150,0 mm+0/-0,2 mm
Pintasuuntaus 4° kohti <11-20>±0,5°
Ensisijainen litteä pituus 47,5 mm ± 1,5 mm
Toissijainen litteä pituus Ei mitään
Ensisijainen tasainen suuntaus Yhdensuuntaisesti <11-20>±5,0°
Toissijainen tasainen suuntaus 90°CW ensisijaisesta ± 5,0°, silikonipuoli ylöspäin
Pintakäsittely C-Face: Optinen kiillotus, Si-Face: CMP
Wafer Edge Viistot
Pinnan karheus Si-Face Ra < 0,2 nm
Paksuus 350,0±25,0 μm
Polytyyppi 4H
Doping p-tyyppi

Raman

2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeava P-tyypin 4H-SiC-substraatti-3

Keinuva käyrä

2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeava P-tyypin 4H-SiC-substraatti-4

Dislokaatiotiheys (KOH-etsaus)

2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeava P-tyypin 4H-SiC-substraatti-5

KOH etsaus kuvat

2–6 tuuman 4° kulmasta poikkeava P-tyypin 4H-SiC-substraatti-6
SiC kiekot

  • Edellinen:
  • Seuraavaksi: