Pääpiirteet:
1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys:
hapettumisenkestävyys on edelleen erittäin hyvä, kun lämpötila on jopa 1600 C.
2. Korkea puhtaus: valmistettu kemiallisella höyrysaostuksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
3. Eroosionkestävyys: korkea kovuus, kompakti pinta, hienojakoisia hiukkasia.
4. Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
Tärkeimmät tekniset tiedotCVD-SIC pinnoite
| SiC-CVD-ominaisuudet | ||
| Kristallirakenne | FCC p-vaihe | |
| Tiheys | g/cm³ | 3.21 |
| Kovuus | Vickersin kovuus | 2500 |
| Jyvän koko | μm | 2~10 |
| Kemiallinen puhtaus | % | 99,99995 |
| Lämpökapasiteetti | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimaatiolämpötila | ℃ | 2700 |
| Feleksuaalinen voima | MPa (RT 4-piste) | 415 |
| Youngin Modulus | Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) | 430 |
| Lämpölaajeneminen (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Lämmönjohtokyky | (W/mK) | 300 |
