Piikarbidikiekkoon valmistettu erittäin puhtaasta piijauheesta ja erittäin puhtaasta hiilijauheesta raaka-aineina, ja piikarbidikide kasvatetaan fyysisellä höyrynsiirtomenetelmällä (PVT) ja jalostetaanpiikarbidikiekko.
① Raaka-ainesynteesi.Erittäin puhdasta piijauhetta ja erittäin puhdasta hiilijauhetta sekoitettiin tietyssä suhteessa, ja piikarbidihiukkasia syntetisoitiin korkeassa lämpötilassa, joka oli yli 2000 ℃.Murskauksen, puhdistuksen ja muiden prosessien jälkeen valmistetaan erittäin puhtaat piikarbidijauheraaka-aineet, jotka täyttävät kiteen kasvun vaatimukset.
② Kiteen kasvu.Raaka-aineena erittäin puhdasta SIC-jauhetta käyttäen kide kasvatettiin fyysisellä höyrynsiirtomenetelmällä (PVT) käyttämällä itse kehitettyä kiteenkasvatusuunia.
③ harkon käsittely.Saatu piikarbidikideharkko orientoitiin röntgenyksikideorientaattorilla, sitten jauhettiin ja valssattiin ja prosessoitiin standardihalkaisijaiseksi piikarbidikiteeksi.
④ Kristallileikkaus.Monilinjaisella leikkauslaitteella piikarbidikiteet leikataan ohuiksi levyiksi, joiden paksuus on enintään 1 mm.
⑤ Lastujen hionta.Kiekko jauhetaan haluttuun tasaisuuteen ja karheuteen eri hiukkaskokoisilla timanttihiontanesteillä.
⑥ Lastujen kiillotus.Kiillotettu piikarbidi ilman pintavaurioita saatiin mekaanisella kiillotuksella ja kemiallisella mekaanisella kiillotuksella.
⑦ Siruntunnistus.Käytä optista mikroskooppia, röntgendiffraktometriä, atomivoimamikroskooppia, kosketuksetonta ominaisvastustesteriä, pinnan tasaisuustesteriä, pintavikojen kattavaa testauslaitetta ja muita instrumentteja ja laitteita mikrotubulusten tiheyden, kiteiden laadun, pinnan karheuden, ominaisvastuksen, vääntymisen, kaarevuuden, paksuuden muutos, pinnan naarmuuntuminen ja muut piikarbidikiekon parametrit.Tämän mukaan määritetään sirun laatutaso.
⑧ Lastujen puhdistus.Piikarbidin kiillotuslevy puhdistetaan puhdistusaineella ja puhtaalla vedellä kiillotusnesteen ja muun pinnan lian poistamiseksi kiillotuslevyltä, minkä jälkeen kiekko puhalletaan ja ravistetaan kuivaksi erittäin puhtaalla typellä ja kuivauskoneella;Kiekko on kapseloitu puhtaan levyn laatikkoon erittäin puhtaassa kammiossa, jolloin muodostuu loppupäässä käyttövalmis piikarbidikiekko.
Mitä suurempi sirun koko, sitä vaikeampi on vastaava kiteen kasvu- ja prosessointitekniikka, ja mitä korkeampi loppupään laitteiden valmistusteho on, sitä alhaisemmat ovat yksikkökustannukset.
Postitusaika: 24.11.2023