Kuvaus
Semiceran piikarbidilla päällystetyt grafiittisuskeptorit on suunniteltu käyttämällä korkealaatuisia grafiittisubstraatteja, jotka on päällystetty huolellisesti piikarbidilla (SiC) kehittyneiden kemiallisten höyrypinnoitusprosessien (CVD) avulla. Tämä innovatiivinen muotoilu varmistaa poikkeuksellisen kestävyyden lämpöshokeja ja kemiallista hajoamista vastaan, pidentää merkittävästi piikarbidilla päällystetyn grafiittisuskeptorin käyttöikää ja takaa luotettavan suorituskyvyn koko puolijohteen valmistusprosessin ajan.
Tärkeimmät ominaisuudet:
1. Erinomainen lämmönjohtavuusSiC-pinnoitetulla grafiittisuskeptorilla on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä on ratkaisevan tärkeää tehokkaalle lämmönpoistolle puolijohteiden valmistuksen aikana. Tämä ominaisuus minimoi kiekon pinnalla olevat lämpögradientit, mikä edistää tasaista lämpötilajakaumaa, joka on välttämätöntä haluttujen puolijohdeominaisuuksien saavuttamiseksi.
2. Kestävä kemiallinen ja lämpöshokkiSiC-pinnoite tarjoaa valtavan suojan kemiallista korroosiota ja lämpöshokkia vastaan, säilyttäen grafiittisuskeptorin eheyden jopa ankarissa käsittelyympäristöissä. Tämä parannettu kestävyys vähentää seisokkeja ja pidentää käyttöikää, mikä lisää tuottavuutta ja kustannustehokkuutta puolijohdevalmistuslaitoksissa.
3. Räätälöinti erityistarpeita vartenSiC-pinnoitetut grafiittisuskeptorimme voidaan räätälöidä vastaamaan erityisiä vaatimuksia ja mieltymyksiä. Tarjoamme valikoiman räätälöintivaihtoehtoja, mukaan lukien koon säädöt ja pinnoitteen paksuuden vaihtelut, varmistaaksemme suunnittelun joustavuuden ja optimoidun suorituskyvyn eri sovelluksille ja prosessiparametreille.
Sovellukset:
KäyttökohteetSemicera SiC -pinnoitteita käytetään puolijohteiden valmistuksen eri vaiheissa, mukaan lukien:
1. -LED-sirun valmistus
2. -Polypiin tuotanto
3. -Semiconductor Crystal Growth
4. -Pii- ja piikarbidiepitaksi
5. - Terminen hapetus ja diffuusio (TO&D)
Tekniset tiedot:
